高精度數顯光柵扭簧表比較儀

高精度數顯光柵扭簧表比較儀

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將被測長度先轉換為光量，再轉換為電量輸出的傳感器。常見的有光柵式、激光式、固體陣列式和光導纖維式等。激光式又可分為光波干涉式、掃瞄式和光強式等(見激光測長技術)。固體陣列傳感器是70年代初期出現的一種圖象傳感器。固體陣列是一種線型或面型的光電轉換元件。其中用得較多的是電荷耦合器件。它是一種在硅芯片的一面沉積柵電極結構的器件。柵電極和硅芯片間有一層約為0.1～0.12微米厚的 SiO 2透明絕緣層，形成電容陣列。由于柵電極可以透光，硅芯片是一種光敏材料,當光照射在其上時，在內部產生電荷載流子,并被收集和存儲在硅芯片的勢阱中。勢阱是當在柵電極上加正電壓時,在電場的作用下,與電極相鄰的硅芯片表面的正電荷被推離后形成的一個耗盡層。存儲在勢阱中的電荷載流子,在適當的時候會穿透芯片,經電荷放大器后輸出。勢阱是芯片中的分立單元，其分辨率可達0.01毫米或更高。將被測尺寸、圖象等以光掃描或投影等方法投射在電荷耦合器件上時，光信號即轉換為電信號輸出，經電路處理后即可得到被測尺寸等的量值。固體陣列傳感器適用于小型復雜形狀工件的多尺寸自動測量。一次投影或光掃描可以測量幾十個尺寸。光導纖維傳感器主要用于測量微小位移和精密定位。

在測定對象物靜止時，以距離來換算線性輸出的擺動幅度，區別在數字輸出時數據偏差的幅度和分辨率，稱為重復精度。